@InProceedings{SilvaTrav:2017:OtPaFi,
author = "Silva, Bruna Henrique da and Trava Airoldi, Vladimir Jesus",
affiliation = "{Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)} and {Instituto
Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE)}",
title = "Otimiza{\c{c}}{\~a}o dos par{\^a}metros de filmes de DLC
(Diamond Like Carbon) fun{\c{c}}{\~a}o da
polariza{\c{c}}{\~a}o e largura do pulso em superf{\'{\i}}cie
Ti6Al4V",
year = "2017",
organization = "Semin{\'a}rio de Inicia{\c{c}}{\~a}o Cient{\'{\i}}fica e
Inicia{\c{c}}{\~a}o em Desenvolvimento Tecnol{\'o}gico e
Inova{\c{c}}{\~a}o (SICINPE)",
note = "{Bolsa PIBIC/INPE/CNPq}",
abstract = "Com o avan{\c{c}}o tecnol{\'o}gico e a busca por novos materiais
os filmes de carbonotipo diamante (DLC) s{\~a}o recentemente de
grande interesse para grupos cient{\'{\i}}ficos e
tecnol{\'o}gicos, isso deve-se {\`a}s suas propriedades, como
alta ades{\~a}o do filme aos substratos met{\'a}licos, baixo
coeficiente de atrito, diferentes formas e obten{\c{c}}{\~a}o em
grandes escalas. Este trabalho consiste na obten{\c{c}}{\~a}o de
uma rela{\c{c}}{\~a}o clara dos par{\^a}metros de descarga e
gera{\c{c}}{\~a}o do plasma em fun{\c{c}}{\~a}o da alta
tens{\~a}o de polariza{\c{c}}{\~a}o na deposi{\c{c}}{\~a}o do
filme de DLC em substratos de liga de Tit{\^a}nio (Ti6AI4V) muito
empregada em aplica{\c{c}}{\~o}es espaciais e industriais. A
deposi{\c{c}}{\~a}o do filme foi realizada a partir da
t{\'e}cnica de deposi{\c{c}}{\~a}o qu{\'{\i}}mica na fase
vapor assistida por plasma (Plasma Enhanced Chemical Vapor
Deposition - PECVD), esse m{\'e}todo trata-se de uma descarga em
plasma de baixa press{\~a}o utilizando uma fonte chaveada pulsada
para a gera{\c{c}}{\~a}o do plasma e deposi{\c{c}}{\~a}o dos
filmes de DLC nos substratos. Uma mistura de hidrocarbonetos, como
por exemplo, o metano (CH4), tolueno (C7H8) ou acetileno (C2H2)
foram utilizados como precursores para a deposi{\c{c}}{\~a}o de
DLC com alta ader{\^e}ncia sobre o substrato de Ti6Al4V. Foram
efetuadas algumas t{\'e}cnicas de caracteriza{\c{c}}{\~a}o,
como espectroscopia de espalhamento Raman, perfilometria e ensaios
tribol{\'o}gicos que avaliaram a qualidade dos filmes e
ades{\~a}o com o substrato utilizado.",
conference-location = "S{\~a}o Jos{\'e} dos Campos, SP",
conference-year = "25-26 jul.",
language = "pt",
targetfile = "Silva_otimizacao.pdf",
urlaccessdate = "27 abr. 2024"
}